无油涡旋真空泵的来源、技术发展、应用及注意事项
涡旋,在20世纪,有涡旋技术的专利。但由于当时技术水平的限制,无法制造出旋涡,旋涡也就被遗忘了。1973年,涡卷机构再次被提起,制成了第一个模型机构,使这项技术的实际应用成为可能。涡旋机构的高可用性、运行稳定、极低噪音、节能等潜在的巨大优势,立即引起了冰箱行业的关注和迫切需求,受到行业领导者的青睐,并迅速投入工业应用。Trance、日立、科普兰等著名公司的涡旋压缩机技术和产品引领了世界实用涡旋技术的潮流,推动了冰箱、空调节等多个行业的技术进步和产品升级。现在,涡旋技术已经从最初在压缩机行业的应用扩展到了real 空泵制造行业,实现了涡旋清洗real 空采集技术无油、运转更顺畅、噪音更低、更节能的实际应用。利用涡旋的概念和原理,人们制造出了一系列单级和双级无油涡旋真空泵,对真空应用仪器设备和环境无污染,在抽速、使用寿命和能耗等方面都优于普通油泵。90年代初,世界上第一台涡旋真空泵推向市场,涡旋技术作为一种新型真空采集技术开始在世界范围内推广应用。到目前为止,世界上涡旋真空泵空的生产厂家集中在美国、日本和欧洲,以日本的Anestta、美国的Varian和德国的Busch为代表。产品包括0.25L/S到10L/S的产品,部分15L/S以上抽气能力的产品也在实验阶段。
干净的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境。自从创建true 空环境以来,人们就试图通过不同的手段来达到干净的true 空的效果。如今,清洁空获取设备已经发展成为冷凝泵、活塞泵、涡旋泵、隔膜泵等多种产品。在现有的无油真空泵空中,无油涡旋真空泵空与其他种类的无油真空泵空相比具有以下特点:① (2)抽气能力大——双涡旋盘,与单级相比,同直径泵的抽气能力提高一倍,节约能源;③泵效高——3-4台抽油机,压差小;大气用true 空通过O型圈密封,低泄漏;④非接触,平衡性好,扭矩影响小,噪音低,振动小;⑤结构简单紧凑,相同尺寸下运动半径小,运行平稳;⑥体积小,维护方便,维护成本低;⑦.使用空气体冷却,无需水冷。
①采用无油涡旋真空泵空泵。半导体行业-薄膜制备设备和半导体器件封装设备;②科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器;③机械设备行业——材料制备设备、真空检测及材料提纯设备;④化学工业;⑤.医疗设备-牙科器械、透析机、生物制品和药物的制备;6.包装工业-食品、药品和生物制品的包装设备。
无油涡旋真空泵空主要由五部分组成:①。动涡盘和静涡盘连接在底座上;②曲轴;③垫片;④防旋转机制;⑤.马达。
无油涡旋真空泵空的涡旋盘是由一根或多根渐开线螺线组成的涡旋式圆盘结构,其一端与一个平面相连。固定涡盘和活动涡盘以交叉的方式装配在一起,并且防旋转机构确保它们之间成180°。相位差,这种组合形成的一对涡旋盘构成了无油涡旋真空泵的基本泵送机构。定涡卷和动涡卷在几条直线上(即截面涡卷线上的几个点)相互接触,形成对称的成对月牙形空腔。动涡旋由曲轴驱动绕定涡旋的涡旋中心运动,使定涡旋与动涡旋的接触点沿涡旋曲面运动,实现吸气、压缩和排气。例如,在两级无油涡旋真空泵空中,有两个方向相对应的固定涡旋盘,一个可动涡旋盘位于两个涡旋盘之间。动、静涡盘的相对运动形成一个容积不断变化的月牙形真空腔,使气体从吸气口吸入,从排气口排出,从而完成吸气、压缩、排气的循环。曲轴每转动一次,就形成一组新的月牙形空腔,于是无油涡旋真空空泵的吸、压、排气循环以接近1500转/分的频率不断重复,形成对泵送气体的遏制和强制输送。众所周知,无油scr100真空泵与普通油真空泵相比具有显著的特点。以普通旋片真空泵为例说明区别:
表1无油涡旋真空泵与普通直联旋片真空泵技术指标对比
表1无油涡旋真空泵与普通直联旋片真空泵技术指标对比
技术指标
旋转叶片油泵空
涡旋式无油真空泵空
泵送速度(1/s)
2.0 , 4.0 , 8.0
2.0 , 4.4 , 8.7
真实空度(帕)
0.6
1.0
使用寿命(小时)
四万
四万
大修间隔(小时)
8000
8000
冷却介质
油
空气体
噪音(分贝)
75
60
质量(千克)
70
41
电力机械
阶段数
3/1
一个
电压(伏特)
220/380
220
功率(千瓦)
1.1
0.6
旋转(转/分)
1400
1437